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更新時間：2023-10-30 
瀏覽次數(shù)：524采用固定橋式結(jié)構(gòu)，可提供初項達(dá)0.28微米的測量精度。
LEGEX系列是初項達(dá)0.28μm的高精度CNC三坐標(biāo)測量機，對所有可能產(chǎn)生誤差的因素進(jìn)行嚴(yán)格分析并排除或地降低其影響。
本體底座部分嚴(yán)選材料，采用密封結(jié)構(gòu)以實現(xiàn)高剛性、高衰減性。采用FEM結(jié)構(gòu)解析模擬進(jìn)行的應(yīng)力分析，保證了幾何運動精度，使負(fù)荷及其它變量波動造成的誤差降至最小。此外，還引入了各種技術(shù)來實現(xiàn)超高精度，如驅(qū)動單元的結(jié)構(gòu)和振動對策等。
用于位置檢測的長度測量單元配備了超高精度測量單元（自社開發(fā)），該單元采用熱膨脹系數(shù)為≒0的超高精度微晶玻璃尺和高分辨力、高性能反射線性編碼器的組合，具有位置檢測能力，可實現(xiàn)超高精度的機器控制功能。此外，提供豐富的選件，包括觸發(fā)式和非觸發(fā)式測頭，數(shù)據(jù)處理部等支持各種工件輕松實現(xiàn)高精度測量。
● 初項精度：0.28μm~
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