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相關文章簡要描述:波蘭prevac 離子源 IS 40C1緊湊、易于使用的提取器類型,用于清潔樣品表面。源產生 >70 μA/cm 2(氬氣)的離子電流,具有高斯光束輪廓。源插入長度可根據個人要求調整(62.5 mm – 384.5 mm 之間,其他長度可根據需要調整)。
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波蘭prevac 離子源 IS 40C1
緊湊、易于使用的提取器類型,用于清潔樣品表面。源產生 >70 μA/cm 2(氬氣)的離子電流,具有高斯光束輪廓。源插入長度可根據個人要求調整(62.5 mm – 384.5 mm 之間,其他長度可根據需要調整)。
特征:
使用惰性氣體(Ar)和活性氣體(O 2、H 2、碳氫化合物,使用壽命縮短)進行操作
高離子束電流
使用壽命長
高穩定性
技術數據:
安裝法蘭DN 40CF(不可旋轉)
能量范圍0.12 keV – 5 keV
電流密度> 120 μA/cm2(距離 30 毫米)
盾Cu,不銹鋼(用于反應氣體)
陰極類型氧化釔涂層銥絲
插入長度最小 62.5 毫米,其他可按要求
定制 外徑:最大 37 毫米
半高寬取決于離子能量和工作距離
(例如距離 30 毫米時為 3 毫米)
典型工作距離30 – 250 毫米
烘烤溫度最高可達 250°C
工作壓力10 -5 – 10 -6毫巴
波蘭prevac 離子源 IS 40C1
緊湊、易于使用的提取器類型,用于清潔樣品表面。源產生 >70 μA/cm 2(氬氣)的離子電流,具有高斯光束輪廓。源插入長度可根據個人要求調整(62.5 mm – 384.5 mm 之間,其他長度可根據需要調整)。
特征:
使用惰性氣體(Ar)和活性氣體(O 2、H 2、碳氫化合物,使用壽命縮短)進行操作
高離子束電流
使用壽命長
高穩定性
技術數據:
安裝法蘭 DN 40CF(不可旋轉)
能量范圍 0.12 keV – 5 keV
電流密度 > 120 μA/cm2(距離 30 毫米)
盾 Cu,不銹鋼(用于反應氣體)
陰極類型 氧化釔涂層銥絲
插入長度 最小 62.5 毫米,其他可按要求
定制 外徑:最大 37 毫米
半高寬 取決于離子能量和工作距離
(例如距離 30 毫米時為 3 毫米)
典型工作距離 30 – 250 毫米
烘烤溫度 最高可達 250°C
工作壓力 10 -5 – 10 -6毫巴